如何打造半導體車間防微振的堅固防線

       半導體制造作為現(xiàn)代科技的核心領域，生產環(huán)境對振動控制的敏感度遠超傳統(tǒng)工業(yè)。在晶圓光刻、納米級刻蝕等關鍵工藝中，微米級振動可能導致芯片線寬偏差、電路短路甚至晶圓報廢。本文合景凈化工程公司主要探討半導體車間凈化工程建設中的防微振設計。

       根據(jù)《電子工業(yè)防微振工程技術規(guī)范》GB51076 - 2015，半導體潔凈車間的防微振設計需滿足集成電路制造廠房前工序等建筑宜采用小跨度柱網，工藝設備層平臺宜用鋼筋混凝土結構，平臺與周圍結構間設隔振縫。當采用混凝土結構的建筑物超長時，應采用超長混凝土結構無縫設計技術，降低溫度伸縮應力。可在平臺下部分柱間設置鋼筋混凝土防微振墻，縱橫向對稱布置，厚度不小于250mm，不開設孔洞。

       根據(jù)地質條件，優(yōu)先選擇堅硬土層或基巖作為基礎持力層。若地質條件不滿足，可采用樁基礎或人工處理復合地基，以提高地基的承載能力和穩(wěn)定性，減少地面振動和共振現(xiàn)象。對于軟土地基等不良地質條件，可采用地基加固方法，增強地基土的強度和剛度，降低地基的壓縮性和振動傳遞系數(shù)。

       可采用小跨度柱網和鋼筋混凝土結構的工藝設備層平臺，提高結構的整體剛度和抗振性能。在平臺與周圍結構之間設置隔振縫，切斷振動傳遞路徑。將強烈振動設備或對振動敏感設備布置在廠房底層，較大振動設備或敏感設備靠近承重墻、框架梁及柱等剛度較大部位。將振動設備和敏感設備分類集中、分區(qū)布置，利用廠房變形縫分隔，敏感設備遠離振動設備，水平擾力較大設備的擾力方向與廠房結構水平剛度較大方向一致。

       對精密設備進行隔振支座設計和安裝，在設備與地面之間設置隔振墊，有效減少設備振動傳遞至地面和周圍設備?；_采用框架式支承時，宜用鋼筋混凝土框架，周邊設隔振縫。選用低振動施工設備，或在設備周圍設置隔振措施，減少施工過程中設備振動對周邊環(huán)境的影響。避免采用劇烈振動的施工操作。在材料運輸過程中，采用減振車輛或在運輸車輛上設置減振墊，防止材料運輸過程中產生的振動對車間結構和已安裝設備造成影響。

       在半導體車間凈化工程的施工和運營階段，應安裝振動監(jiān)測系統(tǒng)，通過在關鍵部位布置振動傳感器，實時監(jiān)測車間內的振動情況。對監(jiān)測系統(tǒng)采集到的數(shù)據(jù)進行分析和處理，及時發(fā)現(xiàn)振動異常情況。根據(jù)監(jiān)測結果，采取相應的調整和改進措施。

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